詳情介紹
特點
■大氣壓附近的排氣速度高,可以縮短排氣時間。
■ECO-SHOCK技術實現低功耗(C型號)
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低(LS120A-C)
■配有專用的消音器。極限壓力下的噪音水平為61 dB(A)或更低
■無需先前所需要的軸封氣體?!鵏型可以使用稀釋氣體。
■排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用可以根據應用選擇排氣能力的型號
用途
C 規格:清潔工藝?。↙S A-C)
特征:低功耗型,內置ECO-SHOCK
用途:用于清潔氣體排氣,如空氣排氣和N2排氣
濺射/蒸發/貼合/load lock室/TMP輔助等等
L 規格:輕工藝(LS A-L)
特征:具有表面處理和清洗功能的輕工藝類型
用途:用于輕工藝,如水蒸氣和揮發性化學液體排氣
真空干燥/冷凍干燥/塵化/一般產業用途 等等
規格
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